Выберите технологии производства 3D-интегрированных структур:

• кристалл на кристалл: отдельные кристаллы совмещаются и соединяются друг с другом;
• кристалл на пластину: пластины с кристаллами одного уровня разделяются, и кристаллы совмещаются и соединяются с пластиной другого уровня, после чего происходит разделение этой пластины;
• пластина на пластину: пластины совмещаются и соединяются друг с другом, после чего разделяются;
• сочетании новых материалов и экономически эффективных, массовых процессов производства;
• в традиционных устройствах радиочастотной идентификации на основе кремниевых кристаллов;
• основаны на примене-нии кремниевых наночастиц на стальных подложках.