Манипуляторы делятся на две группы. Первая группа предназначена для «грубого» регулирования расстояния между кантилевером и образцом \(диапазон движения порядка сантиметров\), вторая — для прецизионного перемещения в процессе сканирования:
1) диапазон движения порядка миллиметров,
2) диапазон движения порядка микронов,
3) диапазон движения порядка нанометров.