В зависимости от расстояния и вида сил между кантилевером и поверхностью образца можно разделить режимы работы атомно-силового микроскопа:
1) импульсный, поточный, пролонгированный,
2) рабочий, не рабочий, промежуточный,
3) контактный, бесконтактный, полуконтактный.