Расставьте знаки препинания. Укажите в порядке возрастания цифры, на месте которых должны стоять запятые.
Как только он убежал \(1\) голова Кота начала медленно таять в воздухе \(2\) так что \(3\) к тому времени \(4\) когда палач привёл Герцогиню \(5\) головы уже не было \(6\) видно.