Расставьте знаки препинания. Укажите цифры, на месте которых в предложении должны стоять запятые.
Здесь Манилов \(1\) сделавши некоторое движение головою \(2\) посмотрел очень значительно в лицо Чичикова \(3\) показав во всех чертах лица своего \(4\) и в сжатых губах такое глубокое выражение \(5\) какого \(6\) может быть \(7\) и не видано было на человеческом лице.

• 123567
• 123467
• 134567
• 12367