Расставьте перечисленные события в хронологическом порядке.

• Изобретение первого микроскопа с двумя линзами в конце XVI в.
• Первое употребление термина «клетка» Робертом Гуком.
• Открытие микроорганизмов Антони ван Левенгуком.
• Появление электронного микроскопа.