Расположите события в геологической истории Земли в хронологическом порядке, начиная с самого раннего.

1) Во время каменноугольного периода уровень кислорода в атмосфере составлял 35 %.
2) В эпиконтинентальных морях кембрийского периода континента Сибирь в основном накапливались карбонатные породы.
3) В конце мелового периода вымерли многие голосеменные растения, водные рептилии, птерозавры, все динозавры \(но уцелели птицы\).

Запишите получившуюся последовательность цифр без пробелов, запятых и других дополнительных символов.