Расположите события в геологической истории Земли в хронологическом порядке, начиная с самого раннего.

1) Ранний кембрий  — одна из крупнейших эпох накопления фосфоритов и солей \(каменной и калийных\) в истории Земли.
2) За время девонского периода образовалось множество первых нефтяных, угольных и природно-газовых бассейнов, востребованных ныне.
3) В триасовом периоде мезозойской эры возникли первые млекопитающие  — цинодонты.

Запишите получившуюся последовательность цифр без пробелов, запятых и других дополнительных символов.