Расположите события в геологической истории Земли в хронологическом порядке, начиная с самого раннего.

1) К середине девонского периода по периферии древнего континента Лавруссия возникли новые складчатые горные массивы.
2) В среднем триасе расцветают полужесткокрылые, жесткокрылые \(предположительно большинство — водные формы\), стрекозы и подёнки.
3) В начале каменноугольного периода уровень моря был высоким, а значительные площади континентов занимали мелководные моря с каменноугольным осадконакоплением.

Запишите получившуюся последовательность цифр без пробелов, запятых и других дополнительных символов.